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德华真空泵油-真空泵油的工作分析

来源:东莞ag8亚游官网真空

发布时间:2017/10/13 9:31:59

  爱德华真空泵油-真空泵油的工作分析
    真空泵油对机器有很大的帮助作用,他能够提升机器的工作效率,能够保护机器不收伤害。那么接下来,我们就来详细一下吧。
   目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器;其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
    第一:半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
    第二:低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
    第三:用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
    第四:除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
    第五:在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
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