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分享几种超高真空系统

来源:东莞ag8亚游官网真空

发布时间:2017/11/22 7:19:27

分享几种超高真空系统
    在生活中,我们应该听过真空的,那么你知道到底真空是什么呢?真空系统又是什么呢?那么接下来,ag8亚游官网将分享几种超高的真空系统,一起来看看吧。
    第一:由扩散泵串联扩散泵(中间泵),再串联机械泵的真空系统。是一个超高真空系统和设备的结构图。主泵是一个水银扩散泵,泵顶有冷却挡板和液氮冷阱,中间泵也是水银扩散泵。在中间泵和前级机械泵之间设有油蒸气捕集器。并设有各种单独的加热器,烘烤真空室和主泵顶部及捕集器。该系统的特点是能获得超高真空,并能稳定工作。
    第二:用扩散泵和钛泵并联为主泵,扩散泵单独串联前级机械泵的真空系统。称为钠灯超高真空封接炉的系统。可以达到极限真空度为1.33×10-6Pa。
    第三:用低温泵做为主泵,串联或并联分子筛吸附泵(预真空泵),构成无油超高真空系统。同样也可以用机械泵做为预真空泵,在机械泵入口管道上设置油蒸气捕集器。 
    第四:主泵为分子泵串联机械泵的真空系统,该种超高真空系统,由于机械泵有油存在,需要在机械泵入口管道上设置捕集器冷凝油蒸气。如果分子泵串联分子筛吸附泵(前级泵),则构成了无油超高真空系统,该系统比较清洁。
    第五:用钛泵或溅射离子泵做为主泵。并联或串联分子筛吸附泵(做为预真空泵),构成无油超高真空系统。也可以用钛泵联接预真空机械泵,但此时机械泵的入口管道上要加油蒸气捕集器。   
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